| 发明名称 |
MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10335716(A) |
申请公布日期 |
1998.12.18 |
| 申请号 |
JP19970141695 |
申请日期 |
1997.05.30 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
YAMADA KEIZO;KURIYAMA TOSHIHIDE |
| 分类号 |
H01L21/306;B62D57/00;B81C1/00;B81C3/00;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/762;H01L49/00;(IPC1-7):H01L49/00 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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