发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10335494(A) 申请公布日期 1998.12.18
申请号 JP19970140661 申请日期 1997.05.29
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 MISAWA HIDEKI
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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