| 发明名称 |
METHOD FOR WASHING DISK-SHAPED WORK AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10314684(A) |
申请公布日期 |
1998.12.02 |
| 申请号 |
JP19970147326 |
申请日期 |
1997.05.21 |
| 申请人 |
SPEEDFAM CO LTD |
发明人 |
INOUE YUSUKE;YASHIKI HIROSHI |
| 分类号 |
B08B1/02;G11B23/50;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):B08B1/02 |
主分类号 |
B08B1/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
