发明名称 CAPACITIVE ABSOLUTE PRESSURE SENSOR AND METHOD
摘要
申请公布号 EP0818046(A4) 申请公布日期 1998.12.02
申请号 EP19950939941 申请日期 1995.11.09
申请人 CASE WESTERN RESERVE UNIVERSITY 发明人 KO, WEN, H.
分类号 G01L9/12;G01L7/08;G01L9/00;H01C7/00;H01L29/84;(IPC1-7):H01G7/00 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
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