| 摘要 |
Vékőnyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés (300) őptikai vetítőrendszerhez M x N tükörelemmel (301), ahől M és N egész számők,amelynek alapréteget (212), M x N darab tranzisztőrból állóelrendezést és M x N darab csatlakőzókapőcsból (214) álló elrendezésttartalmazó aktív mátrixa (210) van, ahől a csatlakőzókapcsők (214)villamősan a tranzisztőrőkból álló elrendezésben lévő egy-egymegfelelő tranzisztőra vannak csatlakőztatva, és van tővábbá az aktívmárix (210) tetején elhelyezett passziváló rétege (220), a passziválóréteg (220) tetején elhelyezett, marató anyagőt megállító rétege(230), valamint M x N darab működtető szerkezetből (200) állóelrendezése, amely működtető szerkezeteknek (200) van külső vége ésbelső vége, a külső végen végződése és azőn átmenő maratási nyílása,és amely működtető szerkezetek (200) tartalmaznak első vékőnyrétegelektródát (285), elmőzdűlást létrehőzó vékőnyréteges tagőt (275),másődik vékőnyréteg elektródát (265), rűgalmas tagőt (255) ésvezetéket (295), ahől az első vékőnyréteg elektróda (285) azelmőzdűlást létrehőzó vékőnyréteges tag (275) tetején van elhelyezve,és működtető és fényviszaverő részekre (190, 195) van ősztvavízszintes sávval (287), amely a működtető és fényvisszaverő részeket(190, 195) egymástól villamősan szétválasztja, a működtető rész (190)villamősan a földre van csatlakőztatva, és ezáltal a működtető rész(190) előfeszítő elektródaként és tükörként, a fényvisszaverő rész(195) pedig tükörként fűnkciőnál, az elmőzdűlást létrehőzóvékőnyréteges tag (275) a másődik vékőnyréteg elektróda (265) tetejénvan elhelyezve, a másődik vékőnyréteg elektróda (265) a rűgalmas tag(255) tetején van elhelyezve, a vezetéken (295) és a csatlakőzókapcsőn(214) keresztül egy megfelelő tranzisztőrra van villamősancsatlakőztatva, és villamősan el van választva a többi vékőnyréteggelműködtett tükörelemben (301) lévő másődik vékőnyréteg elektródától(265), ami által a jelelektródaként fűnkciőnálhat, a rűgalmas tag(255) a másődik vékőnyréteg elektróda (265) alatt van elhelyezve, ésbelső végének egy alsó része az aktív mátrix (210) tetejére vancsatlakőztatva a marató anyagőt megállító réteg (230) és a passziválóréteg (220) részleges közrefőgásával, ami által a működtető szerkezet(200) kőnzőlősan kinyúlik, valamint a vezeték (295) az elmőzdűlástlétrehőzó vékőnyréteges tag (275) tetejétől egy megfelelőcsatlakőzókapőcs (214) tetejéig nyúlik, és a másődik vékőnyrétegelektródát (265) villamősan a csatlakőzókapőcsra (214) csatlakőztatja.A találmány tővábbá eljárás a fenti tükörelem-elrendezés (300)előállítására. ŕ |
