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发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND PROCESSING METHOD FOR SAMPLE USING CHARGED PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号 JPH10312765(A) 申请公布日期 1998.11.24
申请号 JP19970125474 申请日期 1997.05.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAKAI KATSUHIKO
分类号 H01J37/20;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/20 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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