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发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10308298(A) 申请公布日期 1998.11.17
申请号 JP19970132798 申请日期 1997.05.07
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 OZAKI AKINORI;INOUE MASASHI;IWASAKI MASAHIDE
分类号 H05H1/10;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 主分类号 H05H1/10
代理机构 代理人
主权项
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