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发明名称
ELECTRON-BEAM EXPOSURE MASK, ITS MANUFACTURE AND ELECTRON BEAM EXPOSURE METHOD
摘要
申请公布号
KR0153872(B1)
申请公布日期
1998.11.16
申请号
KR19950006437
申请日期
1995.03.25
申请人
FUJITSU LTD
发明人
YAMAZAKI, SATORU;SAKAMOTO, JUICHI;YASUDA, IROSHI;SAKAKI-BARA TAKAYUKI;SAGO, SATORU
分类号
C23F1/00;G03F1/20;G03F1/76;G03F1/78;H01L21/027;(IPC1-7):G03F1/08
主分类号
C23F1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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