| 主权项 |
1.一种防止电浆加强式化学气相沈积蚀刻室(PECVDetchchamber)之阴极座在保养时受损的装置,其包括一可动式保护盖,用以在该蚀刻室做保养时,将该蚀刻室内之该阴极座盖住,以防止该阴极座在保养过程中被清洁工具及清洁液污染及刮伤。2.如申请专利范围第1项所述的装置,其中该保护盖之形状系圆柱状。3.如申请专利范围第1项所述的装置,其中该保护盖之材料系压克力。4.如申请专利范围第1项所述的装置,其中该保护盖之材料系铁氟隆。5.一种防止P5000型电浆加强式化学气相沈积薄膜蚀刻室(PECVD etchchamber)之阴极座在保养时受损的装置,其包括一可动式保护盖,用以在该蚀刻室做保养时,将该蚀刻室内之该阴极座盖住,以防止该阴极座在保养过程中被清洁工具及被清洁液污染及刮伤。6.如申请专利范围第5项所述的装置,其中该保护盖之形状系圆柱状。7.如申请专利范围第5项所述的装置,其中该保护盖之材料系压克力。8.如申请专利范围第5项所述的装置,其中该保护盖之材料系铁氟隆。图式简单说明:第一图系P5000型电浆加强式化学气相沈积薄膜蚀刻室装置部份照片。第二图系本创作之立体图。 |
