| 发明名称 |
Dissolution inhibitor of chemically amplified photoresist and chemically amplified photoresist composition containing the same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9820272(D0) |
申请公布日期 |
1998.11.11 |
| 申请号 |
GB19980020272 |
申请日期 |
1998.09.17 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO LIMITED |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/027;C07C69/618;G03F7/004;G03F7/039 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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