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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Metalloxidschicht, Vakuumbehandlungsanlage hierfür sowie mit mindestens einer Metalloxidschicht beschichteter Teil
摘要
申请公布号 DE59309018(D1) 申请公布日期 1998.11.05
申请号 DE19935009018 申请日期 1993.06.28
申请人 BALZERS AG, LIECHTENSTEIN, LI 发明人 PETER, GUENTER, DR., CH-8889 PLONS, CH
分类号 C23C14/30;C23C14/00;C23C14/54;H01L21/316;(IPC1-7):C23C14/54;H01J37/305 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
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