发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH10294366(A) |
申请公布日期 |
1998.11.04 |
申请号 |
JP19970102896 |
申请日期 |
1997.04.21 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
AOI NOBUO |
分类号 |
H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|