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发明名称
PATTERN FORMATION
摘要
申请公布号
JPH10294276(A)
申请公布日期
1998.11.04
申请号
JP19970292524
申请日期
1997.10.24
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
AZUMA TSUKASA;NARITA MASAKI;OKUMURA KATSUYA
分类号
G03F7/004;G03F7/085;G03F7/11;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
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