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发明名称 WAFER DEVELOPING DEVICE
摘要
申请公布号 KR0125858(Y1) 申请公布日期 1998.11.02
申请号 KR19940028004U 申请日期 1994.10.26
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 LEE, HONG-KOO
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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