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发明名称 METHOD FOR IMPROVING PHOTORESIST ON WAFERS
摘要
申请公布号 KR0148374(B1) 申请公布日期 1998.11.02
申请号 KR19900008684 申请日期 1990.06.13
申请人 HEWLETT-PACKARD CO. 发明人 GORDON, WILLIAM G.
分类号 B05D1/32;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/16 主分类号 B05D1/32
代理机构 代理人
主权项
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