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发明名称 MICROMACHINING METHOD USING THIN FILM OF POROUS SILICON
摘要
申请公布号 KR0148231(B1) 申请公布日期 1998.11.02
申请号 KR19940037887 申请日期 1994.12.28
申请人 KYUNG BUK UNIVERSITY SENSOR TECHNOLOGY INSTITUTE 发明人 LEE, JONG-HYUN;SHIN, JANG-KYU;RYU, INN-SIK
分类号 H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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