发明名称 降低横向电场且具高开口率的薄膜电晶体液晶显示器之结构及其制程
摘要 一种可降低横向电场且具高开口率的薄膜电晶体液晶显示器(TFTLCD)之结构及其制程,系利用储存电容所设之位置遮蔽扫描时产生之横向电场使液晶显示器的呈像更为稳定,并因降低横向电场之问题而得有效提高其开口率,而在薄膜电晶体(TFT)区域 ,其闸极和源极(或汲极)间存在有一隔离之电极,亦可有效降低其耦合电容。
申请公布号 TW344041 申请公布日期 1998.11.01
申请号 TW083106483 申请日期 1994.07.13
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 郑嘉雄
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项 1.一种薄膜电晶体液晶显示器(TFTLCD)之结构,包含一储存电容,此储存电容系与薄膜电晶体均位于同一块基板上,并设于扫描线闸极上方,其间以一绝缘层隔离;此储存电容之电极在TFT闸极区域上系部分重叠扫描区,而在其他区域上则部分重叠扫描区。2.薄膜电晶体液晶显示器之结构,包含一储存电容,此储存电容系与薄膜电晶体均位于同一块基板上,并设于扫描线闸极上方,其间以一绝缘层隔离;此储存电容之电极在薄膜电晶体(TFT)闸极区域上系部份重叠扫描区,而在其他区域上则完全重覆扫描区。3.如申请专利范围第1或2项的薄膜电晶体液晶显示器之结构,其中该储存电容之电极尚可做为一遮光膜矩阵。4.一种可降低薄膜电晶体液晶显示器之横向电场之方法,系包含下列步骤:(1)沉积第一金属层,并经蚀刻,做为扫描线闸极;(2)沉积一绝缘层;(3)沉积第二金属层,并予以蚀刻,制作储存电容之电极;(4)接着以一般薄膜电晶体制程制作后续步骤;其中该储存电容之电极部份重覆TFT闸极区域上之扫描线区,但其他区域则部分或完全重叠扫描区。5.如申请专利范围第4项的可降低薄膜电晶体液晶显示器之横向电场之方法,在步骤(1)和(3)完成后,可分别再做阳极氧化程序,以降低不同金属层间的短路或减少绝缘层沈积的厚度。6.一种薄膜电晶体之结构,包含有一降低耦合电容(coupling capacitance)的电极,此电极介于闸极(gate)和源极(source)或闸极和汲极(drain)之间,其间以绝缘层隔离。7.如申请专利范围第6项的薄膜电晶体之结构,其中此降低耦合电容的电极为一独立电位,此电极区域和闸极区域以及源极区域或汲极区域部份重叠。8.如申请专利范围第6项的薄膜电晶体之结构,其中此降低耦合电容的电极材料可为金属或透明导电的氧化铟锡(ITO)。图式简单说明:第一图(a)所示为Tashi ba公司发展之TFTLCD的剖面示意图;第二图(b)所示为第一图之TFTLCD结构之上视图,其中第一图(a)为第一图(b)之A-A剖面图;第二图(a)所示为NEC公司发展之TFTLCD的剖面示意图;第二图(b)所示为第一图之TFTLCD结构之上视图,其中第二图(a)为第二图(b)之A'-A'剖面图;第三图(a)所示为第二图(a)之结构中,因横向电场所造成之示意图;第三图(b)所示为第二图(b)之结构中,为免横向电场现象,而加大储存电容之共同电极大小而造成之开口率变小之结构上视图;第四图(a)所示为根据本发明之TFTLCD结构之上视图;第四图(b)所示为根据本发明之TFTLCD结构之水平面b-b的剖面示意图。第四图(c)所示为根据本发明之TFTLCD之垂直面c-c的剖面示意图。第五图所示为薄膜电晶体液晶显示器的等效电路。
地址 新竹县竹东镇中兴路四段一九五号