发明名称 Halbleitersensor mit elektrostatischer Kapazität
摘要
申请公布号 DE69227050(D1) 申请公布日期 1998.10.29
申请号 DE19926027050 申请日期 1992.02.24
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 HIRAI, YUTAKA, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO 146, JP
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L27/20;H01L29/84;(IPC1-7):H01L27/20;G01L1/14;G01L9/12;G01P15/08;G01P15/125 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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