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发明名称 Verfahren zur Fehleranalyse unter Verwendung eines Elektronenstrahles
摘要
申请公布号 DE69227056(D1) 申请公布日期 1998.10.29
申请号 DE19926027056 申请日期 1992.03.23
申请人 NEC CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 TUJIDE, TOHRU, C/O NEC CORPORATION, TOKYO, JP;NAKAMURA, TOYOKAZU, C/O NEC CORPORATION, TOKYO, JP;NIKAWA, KIYOSHI, C/O NEC CORPORATION, TOKYO, JP
分类号 G01R31/305;(IPC1-7):G01R31/305 主分类号 G01R31/305
代理机构 代理人
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