发明名称 Mikromechanischer Drehratensensor (DRS) und Sensoranordnung
摘要
申请公布号 DE19528961(C2) 申请公布日期 1998.10.29
申请号 DE19951028961 申请日期 1995.08.08
申请人 DAIMLER-BENZ AKTIENGESELLSCHAFT, 70567 STUTTGART, DE 发明人 VOS, RALF, DIPL.-MIN. DR., 82319 STARNBERG, DE;BAUER, KARIN, DIPL.-PHYS. DR., 81479 MUENCHEN, DE;ROSE, MATTHIAS, DIPL.-PHYS., 85604 ZORNEDING, DE;STENZEL, ERWIN, DIPL.-PHYS. DR., 82041 DEISENHOFEN, DE;SCHALK, JOSEF, DIPL.-ING., 84051 ESSENBACH, DE;KUPKE, WINFRIED, DIPL.-PHYS., 85521 OTTOBRUNN, DE;SEIDEL, HELMUT, DIPL.-PHYS. DR., 82319 STARNBERG, DE
分类号 G01C19/56;(IPC1-7):G01P9/04;G01P3/44;G01P15/09;G01L1/20;H01L21/306;H01L49/00;B64C17/00;B62D6/00;B60T8/32 主分类号 G01C19/56
代理机构 代理人
主权项
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