| 发明名称 |
CHEMICALS SUPPLY SYSTEM AND ITS USE |
| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft ein neues Versorgungssystem für Chemikalien, das die Herstellung von feststoffhaltigen Suspensionen, welche u. a. zum Polieren von Wafern oder in der Halbleiterfertigung benötigt werden, direkt am Ort der Verwendung ermöglicht.
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| 申请公布号 |
WO9847661(A1) |
申请公布日期 |
1998.10.29 |
| 申请号 |
WO1998EP02035 |
申请日期 |
1998.04.08 |
| 申请人 |
MERCK PATENT GMBH;FINKENZELLER, ULRICH;DUSEMUND, CLAUS;SCHWORTSCHIK, THOMAS |
发明人 |
FINKENZELLER, ULRICH;DUSEMUND, CLAUS;SCHWORTSCHIK, THOMAS |
| 分类号 |
B24B37/04;B24B57/02;H01L21/304;(IPC1-7):B24B37/04 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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