发明名称 |
改进的固态图像传感元件,其制造方法和含其的传感器件 |
摘要 |
一种固态图像传感元件具有一个埋置在透明夹层绝缘层(38)中的小透镜,透明夹层绝缘层在一个半导体衬底(36)中形成的一个光电二极管(31)之上,小透镜占据比光电二极管占据的区域宽的一个区域,以便在不损失生产成本的情况下使固态图像传感元件灵敏。 |
申请公布号 |
CN1196580A |
申请公布日期 |
1998.10.21 |
申请号 |
CN98101260.4 |
申请日期 |
1998.04.09 |
申请人 |
日本电气株式会社 |
发明人 |
小川智宏 |
分类号 |
H01L27/14;H01L27/146;H01L21/82 |
主分类号 |
H01L27/14 |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
穆德骏 |
主权项 |
1.一种在衬底(36;51;61;71)上制造的固态图像传感元件(30; 50;60;70),包括:一个占据所述衬底的第一区并将入射光转换成光载流子的光电转换元件(31);覆盖所述光电转换元件、由第一种透明材料形成并具有第一凹穴(38a,38c,38d;74a)的第一透明层(38;74),和设置在所述第一凹穴中,并由折射率比所述第一透明材料大的第二透明材料构成以便作为透镜的第二透明层;其特征在于:容纳在所述第一凹穴(38a;38c;38d;74a)中的所述第二透明层占据比所述第一区宽的第二区。 |
地址 |
日本东京 |