发明名称 APPARATUS FOR HOUSING CUT SINGLE CRYSTAL BLOCK AND CONTROL OF CUT SINGLE CRYSTAL BLOCK CARRYING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH10273400(A) 申请公布日期 1998.10.13
申请号 JP19970093180 申请日期 1997.03.27
申请人 SUPER SILICON KENKYUSHO:KK 发明人 YAMAGISHI HIROTOSHI
分类号 C30B15/20;C30B29/06;C30B35/00;(IPC1-7):C30B35/00 主分类号 C30B15/20
代理机构 代理人
主权项
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