发明名称 Positive photoresist composition
摘要
申请公布号 EP0744661(B1) 申请公布日期 1998.10.07
申请号 EP19960108273 申请日期 1996.05.23
申请人 FUJI PHOTO FILM CO., LTD. 发明人 SATO, KENICHIRO;KODAMA, KUNIHIKO;MOMOTA, MAKOTO
分类号 G03F7/023;G03F7/022;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/022 主分类号 G03F7/023
代理机构 代理人
主权项
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