发明名称 | 采用光纤的母盘曝光装置 | ||
摘要 | 一种母盘曝光装置,包括:一在母盘记录面上沿所述母盘半径方向移动的滑动块;传送所述滑动块的装置;光束发生装置;一快门,可使从所述光束发生装置发射出的光束间断地通过或被阻挡;一末端安装在所述滑动块上的光纤,用来将从所述光束发生装置发出的光束发射到母盘记录面上;和一安装在所述快门和光纤之间的聚光透镜,用来聚焦已穿过所述快门的光束。 | ||
申请公布号 | CN1195165A | 申请公布日期 | 1998.10.07 |
申请号 | CN97110957.5 | 申请日期 | 1997.04.03 |
申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 郑承台 |
分类号 | G11B7/26 | 主分类号 | G11B7/26 |
代理机构 | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人 | 李晓舒 |
主权项 | 1.一种母盘曝光装置,包括:一在母盘记录面上沿所述母盘半径方向移动的滑动块;传送所述滑动块的装置;光束发生装置;一快门,用于使从所述光束发生装置发射出的光束间断地通过或被阻挡;一末端安装在所述滑动块上的光纤,用来将从所述光束发生装置发射出的光束投射到母盘记录面上;和一安装在所述快门和光纤之间的聚光透镜,用来聚焦已通过所述快门的光束。 | ||
地址 | 韩国京畿道 |