发明名称 采用光纤的母盘曝光装置
摘要 一种母盘曝光装置,包括:一在母盘记录面上沿所述母盘半径方向移动的滑动块;传送所述滑动块的装置;光束发生装置;一快门,可使从所述光束发生装置发射出的光束间断地通过或被阻挡;一末端安装在所述滑动块上的光纤,用来将从所述光束发生装置发出的光束发射到母盘记录面上;和一安装在所述快门和光纤之间的聚光透镜,用来聚焦已穿过所述快门的光束。
申请公布号 CN1195165A 申请公布日期 1998.10.07
申请号 CN97110957.5 申请日期 1997.04.03
申请人 三星电子株式会社 发明人 郑承台
分类号 G11B7/26 主分类号 G11B7/26
代理机构 柳沈知识产权律师事务所 代理人 李晓舒
主权项 1.一种母盘曝光装置,包括:一在母盘记录面上沿所述母盘半径方向移动的滑动块;传送所述滑动块的装置;光束发生装置;一快门,用于使从所述光束发生装置发射出的光束间断地通过或被阻挡;一末端安装在所述滑动块上的光纤,用来将从所述光束发生装置发射出的光束投射到母盘记录面上;和一安装在所述快门和光纤之间的聚光透镜,用来聚焦已通过所述快门的光束。
地址 韩国京畿道