发明名称 EVACUATION SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH10266962(A) 申请公布日期 1998.10.06
申请号 JP19970088754 申请日期 1997.03.24
申请人 EBARA CORP 发明人 SUGIURA TETSUO;NOMURA NORIHIKO;NOMICHI SHINJI
分类号 F04B37/16;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):F04B37/16 主分类号 F04B37/16
代理机构 代理人
主权项
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