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发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE AND PLASMA PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10265975(A) 申请公布日期 1998.10.06
申请号 JP19970071927 申请日期 1997.03.25
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NIIMURA TADASHI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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