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发明名称 Surface position detecting method and scanning exposure method using the same
摘要
申请公布号 EP0793073(A3) 申请公布日期 1998.09.30
申请号 EP19970301291 申请日期 1997.02.27
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 IWANAGA, TAKEHIKO;YAMADA, YUICHI;UZAWA, SHIGEYUKI
分类号 G01B11/03;G03F7/20;G03F7/207;G03F9/00;(IPC1-7):G01B11/00 主分类号 G01B11/03
代理机构 代理人
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