发明名称 TESTER AND METHOD FOR TESTING HEAT RESISTANCE OF PRODUCT
摘要
申请公布号 JPH10261678(A) 申请公布日期 1998.09.29
申请号 JP19970064024 申请日期 1997.03.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TESHIROGI SHOICHI;OEDA KENICHI
分类号 G01N25/72;G01B11/16;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N25/72
代理机构 代理人
主权项
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