发明名称 |
TESTER AND METHOD FOR TESTING HEAT RESISTANCE OF PRODUCT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10261678(A) |
申请公布日期 |
1998.09.29 |
申请号 |
JP19970064024 |
申请日期 |
1997.03.18 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
TESHIROGI SHOICHI;OEDA KENICHI |
分类号 |
G01N25/72;G01B11/16;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N25/72 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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