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发明名称
PROXIMITY EFFECT CORRECTION DEVICE FOR CHARGED PARTICLE BEAM LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号
JPH10261562(A)
申请公布日期
1998.09.29
申请号
JP19970064530
申请日期
1997.03.18
申请人
TOSHIBA CORP;TOSHIBA MACH CO LTD
发明人
HATTORI YOSHIAKI;IIJIMA TOMOHIRO;TSURUMAKI HIDEYUKI;ABE TAKAYUKI;OKI SUSUMU;SHIMIZU MITSUKO;KAMIKUBO TAKASHI;TOJO TORU;YOSHIKAWA RYOICHI;KATAYAMA MITSUNOBU
分类号
G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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