| 发明名称 |
Device for lacquering or coating of plates or disks |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG52700(A1) |
申请公布日期 |
1998.09.28 |
| 申请号 |
SG19960008058 |
申请日期 |
1993.08.26 |
| 申请人 |
STEAG MICROTECH GMBH |
发明人 |
GERISCH TORSTEN;KALLIS MARTIN;KUBELBECK ARMIN;MUHLFRIEDEL EBERHARD;SZEKERESCH JAKOB |
| 分类号 |
B05C1/02;B05C5/02;B05C9/02;B05C9/12;B05C11/08;B05C11/105;B05D1/00;B05D1/26;C23C2/00;H01L21/00;H01L21/312;(IPC1-7):B05C9/02 |
主分类号 |
B05C1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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