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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Musters auf einem beschichteten Substrat
摘要
申请公布号 DE69412609(D1) 申请公布日期 1998.09.24
申请号 DE19946012609 申请日期 1994.09.06
申请人 PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN, NL 发明人 DINGS, JACOBUS MARIA, C/O INT. OCTROOIBUREAU B.V., NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;HORNE, REMKO, C/O INT. OCTROOIBUREAU B.V., NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;VAN VEEN, GERARDUS NICOLAAS ANNE, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 B24C1/04;G03F7/00;G03F7/09;G03F7/11;G03F7/40;G09F9/313;H01L23/02;H01L23/04;H01L23/14;H05K3/04;(IPC1-7):B24C1/04 主分类号 B24C1/04
代理机构 代理人
主权项
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