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发明名称
EINRICHTUNG ZUM ERZEUGEN EINES PLASMAS
摘要
申请公布号
AT170701(T)
申请公布日期
1998.09.15
申请号
AT19910402057T
申请日期
1991.07.24
申请人
ATEA SOCIETE ATLANTIQUE DE TECHNIQUES AVANCEES
发明人
DESSAUX, ODILE;DUPRET, CHRISTIAN;GOUDMAND, PIERRE;HOYEZ, CHRISTOPHE
分类号
H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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