| 摘要 |
<p>본 고안은 빔 조절장치용 전류측정기에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 이온총이나 전자총에서 조사되는 빔의 조절시간을 단축할 수 있도록 한 것이다. 이를 위해 본 고안은 각종 분석장비에 사용되는 이온통이나 전자총에서 조사되는 빔의 전류를 측정하는 전류측정기에 있어서, 상기 전류측정기의 상면 일측에 빔의 형태를 측정하는 실리콘 웨이퍼를 클립으로 고정시키고 타측에는 스퍼터율을 측정하는 탄탈륨판을 클립으로 고정시켜서 된 것으로, 시편 스테이지를 이동시키는 간단한 작업으로 교환 또는 수리후 조사되는 빔의 조절을 할 수 있게 되므로 그 작업 시간이 단축 됨은 물론 운전자의 실수로 인한 오동작을 미연에 방지할 수 있게 되는 것이다.</p> |
