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发明名称
真空系统中可轴对称360°旋转的大电流水冷电极
摘要
本实用新型涉及一种真空系统中的部件制造领域。本实用新型的目的是为了在保持真空度不变的条件下消除大电流及由于电极无水冷引起的放气、断路等不良现象。提供一种由多根金属套管同轴依半径大小相套,用橡胶垫圈真空密封并相互绝缘,它们一端作进水口,另一端作出水端,在中层管出水端侧壁开有回水孔,另一端侧壁上有一电极水嘴,盲板把中层管出水端与冷水套管一端口密封焊住,水冷套管与外层管之间用陶瓷管密封相接。该套管既是水冷通路又是电极,并固化在旋转轴上可旋转 360°。
申请公布号
CN2289802Y
申请公布日期
1998.09.02
申请号
CN96207830.1
申请日期
1997.02.25
申请人
中国科学院物理研究所
发明人
张鹰子;李林;赵柏儒
分类号
C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
1.一种由金属套管,电极组成的真空系统中可轴对称360°旋转的大电流水冷电极,其特征在于:由2根或3根金属套管依半径大小相套,中层管15或内层管16套入外层管5内,套管之间用橡胶O圈22,23相隔密封固定,并且相互绝缘,其管子一端是进水口,另一端是出水口,在中层管15一端侧壁开有一回水孔,另一端侧壁焊有一电极吸水嘴17,盲板1焊在中层管15外的水冷套管2口内,中层管15开有回水孔端垂直在盲板1中心,水冷套管2与外层管5之间用套瓷管24密封连接。
地址
100080北京市海淀区中关村南三街8号高存秀
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