发明名称 METHOD OF MANUFACTURING INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 US3430334(A) 申请公布日期 1969.03.04
申请号 USD3430334 申请日期 1966.03.31
申请人 HITACHI SEISAKUSHO:KK. 发明人 KIKUO DOUTA;HARUO MATUMARU;TAKEO NISHIMURA
分类号 H01L21/00;H01L27/08;H01L49/02;(IPC1-7):H01L1/16;H01L7/00;H01L1/24 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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