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发明名称 Method of patterning a coating on a substrate
摘要
申请公布号 EP0700752(B1) 申请公布日期 1998.08.19
申请号 EP19940202544 申请日期 1994.09.06
申请人 PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 DINGS, JACOBUS MARIA;HORNE, REMKO;VAN VEEN, GERARDUS NICOLAAS ANNE
分类号 B24C1/04;G03F7/00;G03F7/09;G03F7/11;G03F7/40;G09F9/313;H01L23/02;H01L23/04;H01L23/14;H05K3/04;(IPC1-7):B24C1/04 主分类号 B24C1/04
代理机构 代理人
主权项
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