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发明名称 Method for manufacturing semiconductor device
摘要
申请公布号 GB2291536(B) 申请公布日期 1998.08.19
申请号 GB19950014305 申请日期 1995.07.13
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 HIROSHI * ITOH
分类号 H01L21/28;H01L21/265;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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