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发明名称 Vacuum coating apparatus
摘要
申请公布号 EP0657563(B1) 申请公布日期 1998.08.19
申请号 EP19940108188 申请日期 1994.05.27
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 ZEJDA, JAROSLAV;HENRICH, JUERGEN
分类号 C23C14/50;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56;C23C14/34 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
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