发明名称 TFT FABRICATION
摘要
申请公布号 KR0144256(B1) 申请公布日期 1998.08.17
申请号 KR19940021061 申请日期 1994.08.25
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 PARK, MIN-HWA
分类号 H01L21/335;(IPC1-7):H01L21/335 主分类号 H01L21/335
代理机构 代理人
主权项
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