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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10214809(A) 申请公布日期 1998.08.11
申请号 JP19970017993 申请日期 1997.01.31
申请人 NEC CORP 发明人 HAYASHI MIKIJI
分类号 H01L21/28;H01L21/304;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/304;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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