发明名称 FORMATION METHOD OF WIRING CONNECTING STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH10214796(A) 申请公布日期 1998.08.11
申请号 JP19970014109 申请日期 1997.01.28
申请人 NKK CORP 发明人 TAGAMI RYUZO;OIZUMI EIJI;TOKOU ERIKO;HAYASHI TAKETOSHI;DAIMATSU MASAHIKO
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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