发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10209296(A) 申请公布日期 1998.08.07
申请号 JP19970012282 申请日期 1997.01.27
申请人 SONY CORP 发明人 SUENAGA ATSUSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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