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发明名称 ETCHING DEVICE AND ETCHING END POINT DETECTING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10209116(A) 申请公布日期 1998.08.07
申请号 JP19970008440 申请日期 1997.01.21
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAWARA KENJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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