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发明名称 METHOD OF MAKING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING INSULATING FILMS
摘要
申请公布号 US3504430(A) 申请公布日期 1970.04.07
申请号 USD3504430 申请日期 1967.06.13
申请人 HITACHI SEISAKUSHO:KK. 发明人 SEIJI KUBO
分类号 H01L21/00;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/29;H01L23/485;H01L29/00;(IPC1-7):B01J17/00;H01L11/14 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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