发明名称 웨이퍼 캐리어
摘要 <p>본 고안은 웨이퍼 캐리어에 관한 것으로, 슬롯이 형성되어 있는 내측 하단부를 경사지게 하여 웨이퍼 삽입이 용이하도록 하고, 각각의 슬롯에 고유번호를 부여하여 슬롯에 삽입된 웨이퍼의 식별이 가능하도록 한 웨이퍼 캐리어에 관한 것이다.</p>
申请公布号 KR19980026387(U) 申请公布日期 1998.08.05
申请号 KR19960039252U 申请日期 1996.11.09
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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