| 发明名称 |
MATERIAL SUPPLY DEVICE FOR VACUUM FILM FORMING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10204624(A) |
申请公布日期 |
1998.08.04 |
| 申请号 |
JP19970004332 |
申请日期 |
1997.01.14 |
| 申请人 |
SUMITOMO HEAVY IND LTD |
发明人 |
SAKAMI TOSHIYUKI;TANAKA MASARU |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/32;(IPC1-7):C23C14/32 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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