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发明名称 PARTICLE REDUCING APPARATUS OF OXIDE FILM DRY ETCHER
摘要
申请公布号 KR0120392(Y1) 申请公布日期 1998.08.01
申请号 KR19910023234U 申请日期 1991.12.21
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 PARK, JIN-KYU
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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