发明名称 GAS SUPPLY APPARATUS IN CHAMBER
摘要
申请公布号 KR0119251(Y1) 申请公布日期 1998.08.01
申请号 KR19940026226U 申请日期 1994.10.07
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 KIM, IK-KON
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址