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发明名称 MANUFACTURE OF SILICON SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH10194890(A) 申请公布日期 1998.07.28
申请号 JP19960357513 申请日期 1996.12.27
申请人 KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD 发明人 SAISHOJI TOSHIAKI;YOKOYAMA TAKASHI;NAKAJIMA HIROTAKA;KUBOTA TOSHIMICHI;NAKAMURA KOZO
分类号 C30B15/20;C30B15/00;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B29/06 主分类号 C30B15/20
代理机构 代理人
主权项
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